[25a-E305-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[25a-E305-10] 解析シミュレーションによる非鉛材料の特性評価

〇宮野 翔也¹ (1.城西大理)

キーワード：圧電デバイス、解析

圧電材料は、圧電現象や超音波を利用した製品に幅広く使用されており、材料には、一般的にPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)が用いられる。しかし、鉛の影響によって環境汚染の進行や人体への被害が懸念されている。そこで本研究では、非鉛材料であるニオブ酸リチウムとタンタル酸リチウムに着目し、圧電材料解析ソフト「Femtet」を用いてシミュレーションを行い、様々な圧電パラメータを算出した上で両者の圧電特性を比較した。