[25a-E305-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[25a-E305-4] (Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃厚膜における脱分極温度の上昇

〇坂井 雄一¹、唐木 智明² (1.富山産技研究セ、2.富山県立大)

キーワード：圧電体、厚膜、強誘電体

代表的な非鉛系の圧電材料として(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃系材料がある。この材料は、良好な特性を示す一方で脱分極温度(T_d)が低いといった問題がある。これまで(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃系材料を厚膜化し、基板からの残留応力を利用することで厚膜がバルクセラミックスよりも高い温度まで強誘電性を示すことを確認してきた。今回、MgOセラミックス基板に(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃系厚膜を作製し、厚膜の圧電定数d₃₃の温度変化をバルクセラミックスと比較した。