[25a-E305-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [25a-E305-8] The resonance characteristics of epitaxial LiNbO₃ thin film

〇(M1)Shinya Kudo^1,2, Takahiko Yangitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:Lithium niobate, piezoelectric film, epitaxial growth

LiNbO₃は高い電気機械結合係数を有する材料であることから弾性表面波(Surface Acoustic Wave : SAW)フィルタに用いられてきた。近年、フィルタの高周波化に伴いバルク弾性波(Bulk Acoustic Wave : BAW)フィルタの需要が伸びてきている。しかし、薄膜作製技術が確立されていないLiNbO₃ではBAWフィルタとして作製することが困難である。
そこで、本研究では薄膜を大面積、安価、簡易的に作製することが可能であるRFマグネトロンスパッタ法によってLiNbO₃薄膜成長に試みた。