[25a-E305-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

△ [25a-E305-8] LiNbO₃エピタキシャル薄膜の共振特性

〇(M1)工藤 慎也^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)

キーワード：ニオブ酸リチウム、圧電薄膜、エピタキシャル成長

LiNbO₃は高い電気機械結合係数を有する材料であることから弾性表面波(Surface Acoustic Wave : SAW)フィルタに用いられてきた。近年、フィルタの高周波化に伴いバルク弾性波(Bulk Acoustic Wave : BAW)フィルタの需要が伸びてきている。しかし、薄膜作製技術が確立されていないLiNbO₃ではBAWフィルタとして作製することが困難である。
そこで、本研究では薄膜を大面積、安価、簡易的に作製することが可能であるRFマグネトロンスパッタ法によってLiNbO₃薄膜成長に試みた。