[25p-D113-1~5] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

△ [25p-D113-1] サファイアナノファセット面のサイズがZnTe(110)薄膜の結晶性に与える効果

〇(M2)小林 昇太郎¹、川島 勇人¹、杉本 昂大¹、池田 匠¹、坪井 海人¹、小林 正和^1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研)

キーワード：半導体、MBE法、ナノファセット

テラヘルツ波検出素子応用に向け、MBE法によりサファイアr,S面ナノファセット基板上に高品質な(110)配向ZnTe薄膜の作製を目指している。ナノファセット構造の高さは熱処理温度や時間によって制御可能であることから、今回はナノファセット面のサイズを変えて実験を行った。成長後の薄膜に関しては、成長層界面を断面TEMで観察し、結晶性をX線回折法で評価した。