[25p-D114-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [25p-D114-5] 量子ドット実現に向けた超高Sn組成GeSnの自己組織化形成

〇橋本 薫¹、柴山 茂久¹、安坂 幸師¹、中塚 理^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：GeSn、スパッタリング、自己組織化