[25p-D214-1~17] 3.10 光量子物理・技術

[25p-D214-7] オンチップ自由空間線形光学回路の動作検証

〇稲垣 拓也¹、石川 巧¹、金森 義明¹、山田 博仁¹、松田 信幸^1,2 (1.東北大院工、2.東北大高等研究機構)

キーワード：シリコンフォトニクス、深堀エッチング