[25p-D315-1~18] 3.9 テラヘルツ全般

[25p-D315-13] CNT膜によるTHz-IR帯光熱電センサーの熱的・光学的構造最適化

〇鈴木 大地¹、瀧田 佑馬²、河野 行雄^3,4,5、南出 泰亜²、寺崎 正¹ (1.産総研、2.理研、3.中央大、4.東工大、5.情報研)

キーワード：カーボンナノチューブ、テラヘルツ、アンテナ効果

我々はビルトイン・ディスポーザブル使用が可能なTHz-IR帯ソフトセンサーの研究に取り組んでいる。THz光の検出信号である光熱起電力は、材料であるカーボンナノチューブ（CNT）膜の物性・デバイス構造に由来する熱的な項と光学的な項の両者から定められる。今回、解析と実験の両方を通じて熱的な項と光学的な項のそれぞれの影響を解明し、熱的・光学的構造最適化による感度向上を達成したのでこれを報告する。