[25p-D315-1~18] 3.9 Terahertz technologies

[25p-D315-2] Resonant-Tunneling-Diode THz Oscillator Using Rectangular-Cavity Resonator with Heat Dissipation Structure

〇Hidenari Fujikata¹, Feifan Han¹, Akira Ishikawa¹, Hiroki Tanaka¹, Safumi Suzuki¹, Masahiro Asada¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:terahertz, resonant tunneling diode

矩形型空洞共振器を集積した共鳴トンネルダイオード発振器は、小型かつ室温動作可能なデバイスであり、高出力なTHz光源として有力視されている。しかし、大面積RTDは大電流動作のためRTDが熱破壊されやすく、高出力発振は未だ得られていない。そこで、本研究では基板となるRTDエピとデバイス構造の両方に放熱構造を取り入れ、530 GHzで約200 μWの高出力発振を達成したので報告する。