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[25p-D315-3] 変調ドープ法を用いたTHz-QCLの特性改善に関する検討
キーワード:テラヘルツ、量子井戸カスケードレーザー、不純物ドーピング
テラヘルツ量子井戸カスケードレーザー(THz QCL)の室温動作に向けた研究が、ますます加熱している。要素技術研究の内、キャリア注入のために必須である不純物ドーピングについては、報告例が限られているため、更に包括的な検討が必要である。本研究では、二重量子井戸構造から構成される共鳴フォノン構造をベースとし、ドーピング手法(量、位置、分布)が素子特性に与える影響をデバイスシミュレーションと実験から調査している。