[25p-E102-1~19] 17.2 グラフェン

△ [25p-E102-11] 強誘電体ナノ薄膜を用いた室温動作グラフェン長波長赤外線検出器の開発

〇福島 昌一郎¹、嶋谷 政彰¹、小川 新平¹ (1.三菱電機)

キーワード：グラフェン、赤外、光検出器

我々は主に光ゲート効果を用いたグラフェン光検出器の高感度化検討を行ってきた。前回、強誘電体基板を光ゲート材料として用いたグラフェン光検出器によって、長波長赤外線波長域において室温で高感度応答が可能であることを報告した。本研究では更なる高性能化のために、原子層堆積法 (ALD) によって成膜した強誘電体ナノ薄膜を用いたグラフェン長波長赤外線検出器を開発した。