[25p-E203-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[25p-E203-1] 金属Alターゲットを用いてスパッタ堆積したアニールAlNの極性制御

〇(M1)橋本 卓実¹、正直 花奈子³、上杉 謙次郎^1,2、肖 世玉²、窪谷 茂幸²、三宅 秀人^1,3 (1.三重大地域イノベ、2.三重大地創戦略企、3.三重大院工)

キーワード：窒化アルミニウム、極性制御、スパッタ法