[25p-E203-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[25p-E203-3] スパッタ堆積アニールN極性AlN薄膜へのサファイア基板オフ角の影響

〇(M1)並河 楽空¹、窪谷 茂幸²、正直 花奈子¹、森 隆一¹、上杉 謙次郎^2,3、三宅 秀人^1,3 (1.三重大 院工、2.地創戦略企、3.院地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム、N極性、オフ角