[25p-E204-1~17] 6.2 Carbon-based thin films

[25p-E204-15] Hybrid integration of Si₃N₄ grating on a diamond NV substrate using transfer printing

〇Ryota Katsumi^1,2, Takeshi Hizawa¹, Aihiro Kuwahata³, Takayuki Iwasaki⁴, Mutsuko Hatano⁴, Fedor Jelezko⁵, Masaki Sekino², Takashi Yatsui^1,2 (1.TUT, 2.Univ. of Tokyo, 3.Tohoku Univ., 4.Tokyo Inst. of Technol., 5.Ulm Univ.)

Keywords:diamond, quantum sensor, NV center

ダイヤモンド中の窒素－空孔(NV)中心を利用する量子センサは、高感度な磁気検出が室温で可能にすることが期待される。しかし、NV中心に基づく磁気検出感度は既存のセンサに比べて数桁も劣る。磁気検出の高感度化にはNV中心からの発光検出効率の改善が重要であるが、ダイヤモンドの加工は技術的に困難である。本研究では、他材料系グレーティング構造をダイヤモンド上に集積し、NV中心からの発光検出効率向上を観測したので報告する。