[25p-E204-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[25p-E204-15] 転写プリント法によるダイヤモンドNV基板上Si₃N₄グレーティングのハイブリッド集積

〇勝見 亮太^1,2、飛沢 健¹、桑波田 晃弘³、岩崎 孝之⁴、波多野 睦子⁴、Jelezko Fedor⁵、関野 正樹²、八井 崇^1,2 (1.豊橋技術科学大学、2.東大院工、3.東北大院工、4.東工大工学院、5.Ulm University)

キーワード：ダイヤモンド、量子センサ、NV中心

ダイヤモンド中の窒素－空孔(NV)中心を利用する量子センサは、高感度な磁気検出が室温で可能にすることが期待される。しかし、NV中心に基づく磁気検出感度は既存のセンサに比べて数桁も劣る。磁気検出の高感度化にはNV中心からの発光検出効率の改善が重要であるが、ダイヤモンドの加工は技術的に困難である。本研究では、他材料系グレーティング構造をダイヤモンド上に集積し、NV中心からの発光検出効率向上を観測したので報告する。