[25p-E301-1~8] CS.9 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.6 IV族系化合物（SiC）のコードシェアセッション

[25p-E301-7] シリコンウェハ内の過渡的熱拡散過程の
イメージング技術に関する研究

〇(M1)松口 康太郎¹、藤本 渓也¹、Yu Jiawen¹、花房 宏明¹、佐藤 拓磨¹、東 清一郎¹ (1.広島大先進理工)

キーワード：シリコン、温度測定、OICT