[25p-E305-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

[25p-E305-18] Si基板上のHfO₂薄膜をバッファ層に用いたPLD法によるPbTiO₃単結晶薄膜の作製

〇パク ハンソル¹、木島 健¹、田畑 仁¹ (1.東大工)

キーワード：強誘電体薄膜