[25p-F408-1~12] 15.1 バルク結晶成長

[25p-F408-1] [分科内招待講演] 結晶成長と結晶の非接触・非破壊測定

〇藤井 高志¹ (1.桂オプティクス)

キーワード：結晶成長、その場観察、非接触・非破壊測定

結晶成長と遠赤外分光の研究に携わってから43年が経過した。その中で、結晶成長のその場観察と育成した結晶の非接触・非破壊測定についていろいろな試みを行った。今回は、その中で行ったいくつかの技術について紹介を行う。さらに現在、実施しているSaAlMgO₄単結晶基板を用いた窒化物半導体成長のプロジェクトについても紹介する。