[25p-F408-1~12] 15.1 バルク結晶成長

[25p-F408-4] 大口径フッ化物固溶体Ca_1-xSr_xF₂単結晶作成

〇高橋 和也¹、熊谷 毅¹、川又 透²、杉山 和正²、猿倉 信彦³、福田 承生¹ (1.㈱福田結晶研、2.東北大金研、3.阪大)

キーワード：フッ化物、結晶成長

CaF₂とSrF₂の固溶体Ca_1-xSr_xF₂は、DUV応用から大変興味が持たれているが、詳細な報告例は無い。今回我々は、CZ法により直径2インチ、および4インチサイズの単結晶を試作し、作成結晶について均質性や光学特性などを調べたので報告する。