[25p-P01-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[25p-P01-1] 膜中残留炭素と酸素分圧制御による高配向V₆O₁₃膜の作製と特性評価

〇山田 知紀¹、田橋 正浩¹、高橋 誠¹、後藤 英雄¹ (1.中部大工)

キーワード：酸化物