2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[25p-P01-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2022年3月25日(金) 13:30 〜 15:30 P01 (ポスター)

13:30 〜 15:30

[25p-P01-3] プラズマプルームの発光分光分析による 強相関強誘電体 YMnO3 薄膜の PLD 成長プロセスモニタリング

〇五十嵐 悠生1、吉村 武1、藤村 紀文1 (1.阪府大院工)

キーワード:RMnO3、強誘電体、強相関電子系