2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.6 プローブ顕微鏡

[25p-P03-1~7] 6.6 プローブ顕微鏡

2022年3月25日(金) 13:30 〜 15:30 P03 (ポスター)

13:30 〜 15:30

[25p-P03-2] qPlusセンサーの熱振動を利用した力計測

〇大江 弘晃1 (1.横浜市大)

キーワード:qPlus、AFM、熱振動

昨秋の学術講演会では、水晶振動子製FM-AFM力センサー(qPlusセンサー)の熱振動を利用することで、AGCとPLLなしに探針と試料の間に働く引力を計測できる可能性があることを報告した。ただし、その定量性の評価には至らなかった。
今回は、引き続き進めていた熱振動スペクトルと外力の関係について解析結果の詳細、検出信号の解釈について報告する。