[25p-P07-1~3] 3.2 Equipment optics and materials

[25p-P07-3] Refractive indices of multilayered SiO2 nanoparticles assembled by Layer-by-Layer method

〇Yuki Otsuki¹, YongGu Shim¹ (1.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:Refractive index, Nanoparticles, Ellipsometry

Layer-by-Layer（LbL 法）により、可視光領域で透明で光散乱 が無視できる SiO₂ナノ粒子（SiO2-np）（粒径：20nm）の多積層膜（1-25層）を作製し、分光エリプソメトリ により光学定数や膜厚、膜質の評価を行った。結果、膜厚は積層数に対して線形的に増加し、屈折率は積層数が増加すると一定値を示した。このことから、作製した SiO₂-np 多積層膜には、ナノ粒子密 度が低い表面相が存在し、積層数の増加に従い、その影響は小さくなることがわかった。