[25p-P07-1~3] 3.2 材料・機器光学

[25p-P07-3] Layer-by-layer 法による SiO2ナノ粒子多積層膜の光学定数評価

〇大月 宥輝¹、沈 用球¹ (1.大阪府大院工)

キーワード：屈折率、ナノ粒子、エリプソメトリー

Layer-by-Layer（LbL 法）により、可視光領域で透明で光散乱 が無視できる SiO₂ナノ粒子（SiO2-np）（粒径：20nm）の多積層膜（1-25層）を作製し、分光エリプソメトリ により光学定数や膜厚、膜質の評価を行った。結果、膜厚は積層数に対して線形的に増加し、屈折率は積層数が増加すると一定値を示した。このことから、作製した SiO₂-np 多積層膜には、ナノ粒子密 度が低い表面相が存在し、積層数の増加に従い、その影響は小さくなることがわかった。