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[25p-P09-9] 結晶セレン光電変換膜とFDSOI基板上の回路を用いたフレキシブルCMOSイメージセンサの試作
キーワード：フレキシブルセンサ、FDSOI、結晶セレン
身の回りのあらゆる情報を収集し可視化するためには、形状に合わせて自由に曲げることのできる高性能なフレキシブルセンサが有用である。近年、有機・無機TFTを用いたフレキシブルセンサの開発が盛んに行われているが、実用化に向けてはデバイスの高性能化・高信頼化が課題となる。本研究では、超薄片化したCMOS回路と光電変換膜をフレキシブル基板に転写し、高性能と柔軟性を両立したフレキシブルセンサを実現する。デバイス層を薄くできるFDSOI（Fully depleted silicon on insulator）基板上に形成したCMOS回路と、光吸収特性に優れた結晶セレン光電変換膜とを組み合わせ、高性能なフレキシブルCMOSイメージセンサを試作したので報告する。