[25p-P10-1~7] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[25p-P10-3] 陽極酸化アルミナを用いたMoS2ナノチューブの形成と電界効果トランジスタ応用

〇(M1)白岩 直哉¹、伊藤 健¹、新宮原 正三¹、清水 智弘¹ (1.関西大シス理)

キーワード：半導体、ナノチューブ、FET

二硫化モリブデン(MoS2)は単分子層でバンドギャップを有するため, 機械的柔軟性, 高移動度, 低消費電力といった優れた特徴を持つ電子デバイス材料として注目されている。本研究では, 陽極酸化アルミナを鋳型として用いて作製したMoS2のシートをチューブ状に形成した。そして、MoS2ナノチューブを用いて電界効果トランジスタを作製した。MoS2ナノチューブトランジスタの電気特性について報告する。