[26a-E104-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[26a-E104-8] 3次元数値解析によるa-, c-, m-軸サファイア結晶中の転位密度解析

〇柿本 浩一¹、中野 智¹ (1.九大応力研)

キーワード：サファイア、シミュレーション、転位

サファイア結晶は、結晶成長方法によりa-, c-, m-軸の異なる結晶方位で育成されている。従来、サファイア結晶中の転位密度は、a-, c-, m-軸の方位が異なることにより、分布が異なるという実験結果が報告されている。本報告では、熱処理中のa-, c-, m-の3つの異なる成長方向のサファイア結晶の転位密度分布を、3次元非定常解析法により求めた。