[26a-E105-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[26a-E105-3] 周波数変調型静電引力顕微鏡法によるキャリア密度の定量測定

〇福澤 亮太¹、梁 剣波³、重川 直輝³、高橋 琢二^1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構、3.大阪市大)

キーワード：原子間力顕微鏡、C-V、界面準位