[26a-E203-1~11] 15.4 III-V-group nitride crystals

[26a-E203-3] Fabrication of 10 mW class 230 nm deep-UV LED panel

〇Hideki Hirayama¹, Hiroyuki Oogami², Yasushi Iwaisako², Yukio Kashima¹, Eriko Matsuura³, Kazuki Iimura⁴, Masafumi Jo¹, Noritoshi Maeda¹, Hidetoshi Shinohara⁵, Kanji Furuta⁶, Ryuuichiro Kamimura⁶, Yohei Oayama⁷, Takeshi Iwai⁷, Tsugumu Nagano⁸ (1.RIKEN, 2.Nippon Tungsten, 3.Marubun, 4.Farmroid, 5.Shibaura Machin, 6.ULVAC, 7.Tokyo Ohka Kogyo, 8.Dainippon Printing)

Keywords:deep-UV LED, MOCVD, AlGaN

波長230nm以下の深紫外LEDは、生体に無害で、且つ、強力なウイルス不活化効果を有するため、有人空間におけるウイルス対策光源として注目されている。近年、SARS-COV-2ウイルスの不活化が特に注目を集めている。本研究では、短波長230nmLEDの並列実装を行い、10mWクラスの深紫外LEDパネルを実現したので報告する。