[26a-P01-1~3] 1.1 Interdisciplinary and General Physics

[26a-P01-1] Influence of Current Density on Micro-mechanical Characteristics of Electrodeposited Gold Films Evaluated by Micro-compression

〇Taro Omura¹, Chun-Yi Chen¹, Tso-Fu Chang¹, Daisuke Yamane², Hiroyuki Ito¹, Katsuyuki Machida¹, Yoshihiro Miyake¹, Masato Sone¹ (1.Tokyo Tech, 2.Ritsumeikan Univ)

Keywords:MEMS, gold, micro-compression test

金属材料のめっきでは、平均粒径と優先結晶方位がめっき条件によって容易に操作される。平均粒径は、主にめっき時の電流密度に影響される。本研究では、シアン浴を用い、3 種類の電流密度でめっきした金薄膜を作製した。金めっき材料の結晶特性および微小機械的特性に対する電流密度の依存性を微小圧縮試験により評価した。