[26a-P01-1~3] 1.1 応用物理一般・学際領域

[26a-P01-1] 金めっき材料における機械的特性の電流密度依存性

〇大村 太郎¹、Chun-Yi Chen¹、Tso-Fu Chang¹、山根 大輔²、伊藤 浩之¹、町田 克之¹、三宅 美博¹、曽根 正人¹ (1.東工大、2.立命館大)

キーワード：MEMS、金、微小圧縮試験

金属材料のめっきでは、平均粒径と優先結晶方位がめっき条件によって容易に操作される。平均粒径は、主にめっき時の電流密度に影響される。本研究では、シアン浴を用い、3 種類の電流密度でめっきした金薄膜を作製した。金めっき材料の結晶特性および微小機械的特性に対する電流密度の依存性を微小圧縮試験により評価した。