[26a-P02-1~10] 1.2 教育

[26a-P02-8] 液体金属を用いたショットキーバリヤダイオードの改良

〇内田 竣也¹、熊谷 昌城¹、内海 淳志¹ (1.舞鶴高専)

キーワード：液体金属、ダイオード

半導体工学教育の一環として，半導体デバイスの作製実験が大学および高専で実施されているが，その数は多くない．そこで我々は実施数を増やすために短時間で作製できる液体金属を用いたショットキーバリヤダイオードの実験用教材を開発している．現在，作製したダイオードにおいて安定して整流特性を得られていない．今回，作製プロセスに熱処理を追加し，熱処理前後の電流電圧特性の比較を行ったのでその結果を報告する．