[26a-P03-1~15] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[26a-P03-12] プラズマエッチング装置チャンバー部品用MgO系セラミックス材料の開発

〇笠嶋 悠司¹、池田 隆志²、田原 竜夫¹ (1.産総研SSRC、2.日本タングステン)

キーワード：プラズマエッチング、酸化マグネシウム、パーティクル

プラズマエッチング装置のチャンバー部品材料として用いられるセラミックスには、反応性の高いプラズマに対する耐食性の向上及びパーティクル発生の低減が求められている。本発表では、高耐性と低発塵性を有する新規材料として開発に取り組んでいるMgO系セラミックスの研究成果を発表する。