[26a-P05-1~5] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[26a-P05-1] Al/Si(111)上に表面偏析したSiの光電子分光分析

〇(B)酒井 大希¹、松下 圭吾²、大田 晃生²、田岡 紀之²、牧原 克典²、宮﨑 誠一² (1.名大工、2.名大院工)

キーワード：Si、偏析、XPS