[26p-E104-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[26p-E104-11] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(24) インターネットとtemplateを用いた赤外測定

〇井上 直久¹、奥田 修一¹、川又 修一¹ (1.大阪府大 放射線研究センター)

キーワード：シリコン結晶、炭素濃度、赤外吸収

商品取引で必須な仕様であるSi中の炭素濃度は赤外吸収で測定され、高感度精度信頼性が要求される。国際規格に準じて測定するが、規格は詳細を決められず低濃度化により陳腐化する。一方インターネットでは最新情報を提供できる。規格の解説、測定法の基本知識、具体的な手順などを公開する。また測定スペクトルをデータ処理できるテンプレートも公開している。手順が搭載され半自動的で、例との比較により測定の高品質を保てる。