[26p-E202-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[26p-E202-3] Ga₂O, H₂O原料ガスを用いた高温・高速酸化ガリウム成長の熱力学的検討

〇富樫 理恵¹、鈴木 明香里¹、石田 遥夏¹、宇佐美 茂佳²、今西 正幸²、秦 雅彦³、森 勇介² (1.上智大理工、2.阪大院工、3.伊藤忠プラスチックス(株))

キーワード：酸化ガリウム、OVPE、熱力学