[26p-E302-1~13] 3.8 光計測技術・機器

[26p-E302-13] 倍率補正瞳分割結像方式顕微鏡による斜方結像の実験

〇有馬 英司¹、浦野 雄太¹、松本 俊一²、本田 敏文¹ (1.日立中研、2.日立ハイテク)

キーワード：光学式検査、レンズアレイ、焦点深度拡大