[26p-E302-1~13] 3.8 光計測技術・機器

[26p-E302-3] MEMSフェーズドアレイによる1DラインスキャンLiDAR

〇綿谷 一輝¹、蘆田 雄樹¹ (1.SCREENホールディングス)

キーワード：ライダー、光ビーム走査、光電気素子

赤外波長まで対応したMEMSフェーズドアレイを開発し、ToF方式のLiDARを製作した。このフェーズドアレイは、数千の独立した構造体が100 kHz以上で駆動可能な空間光変調器である。これにより、1Dラインビームを水平方向に高精度に走査し、1Dアレイセンサで垂直方向を測定することで3D深度マッピングを実現する。5.5 mまでの既知の距離に対しては±3 %の精度が得られた。MEMSフェーズドアレイによるビーム走査性能については当日詳細を報告する。