[26p-E304-1~10] 12.2 評価・基礎物性

[26p-E304-9] MEMSセンサーを用いた液晶相転移と熱拡散率

〇藤澤 弘樹¹、劉 芽久哉²、森川 淳子¹ (1.東工大工、2.産総研)

キーワード：熱拡散率、MEMS、液晶

近年の情報通信技術の発展により、サーマルマネージメントに向けたミクロスケールでの材料開発の重要性が増し、それに伴う熱物性値測定法の微細化も求められてきている。温度波熱分析法では、これまで液晶や高分子の相転移挙動と熱拡散率の実測、ミクロスケール単結晶の熱拡散率の実測が行われてきた。本研究では、MEMS技術を応用し、温度波測定用の複合型温度センサーを作製し、低分子液晶の熱拡散率の実測を試みた。