[26p-F308-1~4] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [26p-F308-4] 熱ナノインプリントによるポリマー上PEDOT:PSS薄膜への原子ステップ形状転写

〇(M1)前田 優斗¹、金子 奈帆¹、大賀 友瑛¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：周期的ナノパターン、導電性高分子、熱ナノインプリント

PEDOT:PSS薄膜へのシングルナノスケール以下の表面パターニングや、その物性への影響に関する知見は、デバイス形成と特性制御に貢献すると期待できるが、そのような報告は数少ない。本研究では、PEDOT:PSS薄膜表面への熱ナノインプリントによる原子レベルパターン転写および電気特性変化について検討した。PEDOT:PSS薄膜表面に高さ約0.3 nmのステップパターンが転写されたことが確認できた。講演では、導電特性変化との相関についても示す。