[26p-F408-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[26p-F408-11] フッ素注入したPoly-Si/SiO₂/Si構造における酸化膜の特性評価

〇棚橋 克人¹、立花 福久¹、高遠 秀尚¹ (1.産総研)

キーワード：酸化膜、フッ素注入、固定電荷