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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[26p-F408-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

2022年3月26日(土) 13:30 〜 16:30 F408 (F408)

黒川康良(名大)、松井卓矢(産総研)

15:00 〜 15:15

△ [26p-F408-6] 湿式法により形成したAlドープ超極薄SiO_xでのSi表面のパッシベーション

〇(D)中島寛記¹、Huynh Thi Cam Tu¹、大平圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：表面パッシベーション、極薄酸化膜、湿式法