[26p-F408-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[26p-F408-9] 窒化チタン/酸化チタン積層膜を用いた結晶シリコンヘテロ構造の電気的特性向上

〇井上 徹哉¹、後藤 和泰¹、黒川 康良¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工)

キーワード：太陽電池、窒化チタン、酸化チタン

原子層堆積法で作製された酸化チタン（TiO_y）は、ヘテロ接合型結晶シリコン太陽電池のキャリア選択材料として注目されているが、金属電極製膜によるTiO_yのパッシベーション性能の大幅な低下が課題となっている。この低下は、TiO_yの還元や金属の結晶Siへの拡散に起因すると考えられる。本研究では、これらを抑制することを目的とし、Al/TiO_y界面に窒化チタン（TiN_z）を挿入し、金属製膜によるパッシベーション性能の低下を抑制する結果を得た。