16:00 〜 18:00 [17p-PB07-11] 高密度収束プラズマスパッタリング装置を用いて作製した窒化ガリウム薄膜の結晶性への放電パルス長の影響 〇(B)御園 樹1、本村 大成2、奥山 哲也1、上原 雅人2、田原 竜夫2、工藤 昌輝3 (1.久留米高専、2.産総研、3.九大)