13:45 〜 14:00 △ [15p-A408-4] 高水素化DLC膜の熱分解過程(2) 〇(M1)丹羽 大輔1、三嶋 友博1、中西 康次1、福室 直樹2、鈴木 常生3、神田 一浩1 (1.兵県大高度研、2.兵県大工、3.長岡技科大)