13:15 〜 13:30 △ [15p-A404-2] スパッタリング法によるHfO2-CeO2強誘電体厚膜の非加熱合成 〇(M1)茶谷 那知1、平井 浩司1、安岡 慎之介1、岡本 一輝1、山岡 和希子2、井上 ゆか梨2、舟窪 浩1 (1.東工大、2.TDK株式会社)