13:00 〜 13:15 △ [15p-A404-1] 様々な基板上におけるY:HfO2エピタキシャル膜の合成と評価 〇(M1)前川 芳輝1、平井 浩司1、安岡 慎之介1、岡本 一輝1、清水 荘雄2、舟窪 浩1 (1.東工大、2.物質・材料研究機構)