13:30 〜 15:30 [17p-PA02-5] 固体ソースH2Oプラズマ処理したポリイミド樹脂の表面のXPS分析 〇遠西 美重1、松谷 晃宏1、生方 俊2、松下 祥子3 (1.東工大OFC、2.横国大院工、3.東工大物質理工)