11:15 〜 11:30 [15a-D511-9] シリコン・炭素系混合分子イオン注入誘起拡張欠陥の熱処理挙動 〇鈴木 陽洋1、奥山 亮輔1、門野 武1、小林 弘治1、廣瀬 諒1、柾田 亜由美1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.株式会社SUMCO)