10:15 〜 10:30 [15a-A408-6] 重畳されたマイクロ波を用いたプラズマCVDによるダイヤモンド結晶成長 〇山田 英明1、茶谷原 昭義1、杢野 由明1、嶋岡 毅紘1、弥政 和宏2 (1.産総研、2.三菱電機)